题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
铜互连金属多层布线中,磨料的粒径一般为()。
A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm
答案
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A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm
第5题
第8题
A.导线的方块电阻可以表示为Rs=ρ/H。也叫做薄层电阻
B.与如铜这样的材料相比,铝的电阻率较小,所以集成电路中最常用的互连材料是铝
C.一个方块导体的电阻与它的绝对尺寸无关,导线电阻与方块电阻的关系是,R=Rs*L/W
D.一矩形导体的长为L,截面积为A,ρ为电阻率,则其电阻可以表示为R=ρL/A