A.光学光刻法
B.电子束光刻法
C.离子束光刻法
D.X射线光刻法
第1题
第2题
第3题
第4题
第5题
第6题
A.对位控制
B.分辨率控制
C.粘附性控制
D.灵敏度控制
第7题
A.定基指数
B.质量指标
C.综合指数
D.个体指数
第8题
A.涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶
B.涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶
C.涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶
D.前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
第9题
第10题
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